太陽能PECVD 石墨舟異常情況處理和日常維護

太陽能PECVD 石墨舟異常情況處理和日常維護

1，批次與批次之間不滿舟如何？不滿舟會有什么結果？
上一批不滿一舟用下一批次填滿，并分別記錄區分開來。
不滿舟進行工藝，沒有硅片的舟片上會沉積SIN膜，石墨舟物理性質下降，會產生紅片，色差片等。
2，一區二區流程卡如何對接，數量如何確認？
刻蝕通過傳送箱流入的合格品，當場清點數量即可。
3，石墨舟工藝要求的清洗周期、刻蝕周期？預處理的方式有幾種不同？預處理不合格返工片多如何處理？
石墨舟運行120-150次需刻蝕，刻蝕滿6次需清洗
預處理方式預處理方式：
NEW BOAT PRZ 新舟插上硅片預處理
AFTETCH PRZ 舟刻蝕后沒插硅片預處理
AFTETCH PRZ 舟刻蝕后插硅片預處理
預處理后返工片多，加工藝時間，若還不行，需進行拆洗。
4，刻蝕、清洗、預處理的整個流程？
當石墨舟運行120-150次：
滿6次刻蝕-拆洗-烘干-預處理
不滿6次刻蝕-刻蝕-預處理
5，色差片產生的幾種原因？
清洗、刻蝕工序減薄量不穩定
石墨舟物理性質下降（SIN沉積過多）
鍍膜時間不同
微波峰值不穩定（設備原因）
6，色斑批片產生的原因？
硅片表面清洗不干凈
擴散間偏磷酸滴漏
清洗、刻蝕、風刀沒吹干或堵塞
7，檢驗標準？（色差、色斑片的判定標準）
以QC為準
8，每臺機的石墨舟配置標準？小車的配置是怎樣的？
每臺機石墨舟標準配置7個，為正常輪轉生產，小車配置4個。
9，為什么會出現舟漿分離？
石墨舟電極放反，SLS漿在爐管中較長時間未出，導致變形，檢查要到位，及時觀察。
10，鍍膜的整個過程。
工藝開始-充氮-進舟-漿降至低位-漿在低位退出-管內抽真空并進行管內壓力測試-通過高頻電源用NH3預清理和檢查-清洗管路-測漏-恒溫-高頻電源用NH3預清理-鍍膜-結束鍍膜-抽真空及測試壓力-清洗管路-將管內剩余NH3、SH4抽走、防止與空氣接觸爆炸-充氮-漿在低位進入爐內-SLS移至高位-退舟-結束工藝
12，備用舟的管理。
一條線總共20個舟，14個生產，6個備用，備用舟不使用時應保存在相應的石墨舟柜內。
13，PECVD每條線每個班要求的產量，在制品要求的上下限，工藝允許在制品的等待時間是多長。另外要求刻蝕保證的在制品數量是多少。
產量13500，留絲網在制品4000PCS左右，刻蝕流入在制品1800PCS左右。
14，工藝重點參數
膜厚： 100nm 折射率： 2.0
鍍膜的好壞，一般情況下是根據膜的顏色來判斷的。正常膜面為淡藍色，當膜偏厚時顏色會發白，偏薄時顏色會發紅
因PECVD制程只能通過調節時間來控制膜厚，所以膜面質量的改善很大一部分需要從前站來改善。
絨面偏大時，膜的沉積速率變大，反之變小。
鍍膜時間偏長，膜面發白，鍍膜時間偏短，膜面發紅。
絲網印刷：
1，漿料的管理？
產線每天只領用一天的用量，由崗位專員根據產線的庫存提供領用量給物料員并開單，物料員負責領料交給崗位專員，崗位專員補齊現場本班的用量，然后將下一班的用量放在生產線存放區域，由陳普做賬
2，目前使用的有哪幾種漿料，分別攪拌時間？
目前使用的漿料有PV147銀漿（第三道），CN-334 462銀漿（第一道），也有PV141銀漿，但不用。鋁漿R*8（第二道）（6080-15Q；6080-15L現不用）如果突然絲網做到來料加工的片子，漿料如何使用？銀漿攪拌24小時以上，鋁漿攪拌半小時以上，攪拌速度要求。
3，各道印刷重量標準？
第一道：0.12±0.02g（共18個背電極） 第二道：1.5±0.12g 第三道：0.2±0.02g每瓶2KG，都是攪拌一瓶用一瓶，其中第一道兩天使用三瓶半；第二道每個班使用20瓶左右，第三道每天使用3瓶左右。陳普第二天發兩次，上午9點一次，下午16：00一次。
4，斷柵連柵的區別？
斷柵不超過六根或其中任何一根不超過兩毫米都屬于A級片和連柵的區別不大。
5，每個烘箱溫度？速度，時間。
共有58只托盤，轉一圈的時間都在10分鐘左右，必須大于8分鐘。
第一個烘箱的溫度分別為：100℃ 120℃ 140℃ 160℃
第二個烘箱的溫度分別為：140℃ 160℃ 180℃ 200℃
6，絲網印刷參數調整的允許范圍？
絲網間距： -1200 um~ -1500um
刮刀深度： -1300 um~ -1800um
壓力： 66-72N
印刷速度：200-240Sec
7，外加工不需要印刷STP時是如何實現的？封網漿的作用？如何去除封網漿。
將網版上的STP用封網漿堵實，封網漿的作用是封有漏洞的網板，即補網版，在網版干燥后使用，去除封網漿用清水擦拭即可。
8，松油醇的作用？為什么只在第三倒使用？
松油醇用來擦拭網版，第三道正電極經常斷線（斷線分兩種，一種是網版上有異物，另一種是網版被漿料堵住，有網版經常堵網，所以要使用松油醇，對漿料有很好的溶解作用），所以用來擦拭，第三道停下來超過3分鐘必須進行擦拭。松油醇主要是用來擦拭網版的，片子或斷柵，以及網版的清洗都是用乙醇。
9，斷線、粗點、虛印的產生原因、控制方法、檢驗標準？
第二道臺面不干凈，或網版上有干漿料掉在臺面上印刷烘干后引起的鋁粉會造成斷線，或第三道網板上有臟東西也會有斷線，網板張力不夠或參數調整會造成粗點，虛印。另外，第二道易干，如果不均易產生顆粒。控制方法：勤擦以面，多注意印刷質量，合理調整參數控制，另外，5-10分鐘之間看一次印刷的效果，一次連續看5-10片。
10，壓版如何判定？如何避免？
出現同樣的碎片，或每四片有一片有一樣的隱裂可以判定為壓版。（對印刷后的片子中央及四周輕輕的敲擊，看有無異常，因為細小的壓版可能要到燒結后才能體現，這樣壓版的量是非常大的）避免：勤擦臺面，多注意上料的片子是否有碎片，臺面紙經常更換，保持臺面平整。（碎片千萬不能掉進正在印刷的漿料中，那是最頭疼的事，也是最不容易被發現的）
11，網版使用壽命，領用注意事項？
第三道A版使用壽命為3萬，第一道B版10萬，第二道C版5萬，領用時注意型號不要領錯。（只針對156多晶），刮條與網版壽命同樣。
12，報廢后如何處理？
網板報廢后要有網板使用壽命單，對網版壽命不到就更換的需經過工藝簽字。更換下來的網版（未到報廢要求的）如何處理？機器長時間不印刷如何進行預防漏漿操作，印刷模式需要如何更改？
13，燒結爐的溫度？速度，時間。
6個溫區：500℃ 520℃ 550℃ 570℃ 800℃ 802℃，根據片子厚度，工藝會做調整，速度為4600MM/MIN。
14，為什么漿料不能混用，會產生什么嚴重后果？（注意鏟刀、刮刀頭未清洗干凈不能混？）
漿料混用后會嚴重影響片子的電性能，轉換效率，所以漿料不能混用，鏟刀，刮刀頭每次都必須擦拭干凈。
15，要求PECVD到絲網的在制品數量是多少？
一般在4000-5000PCS左右，最少3000PCS，一般根據實際情況來看。絲網的產量平均每小時為1200-1380PCS左右，總產量要求每個班13000PCS，生產一個產品的時間為2.7S。
16，絲網印刷工序違規動作：
徒手不可接觸任何機器設備
上料盒托住底部
停機后才可以取片
不可徒手隨意打開設備，設備在維修時才可以打開
絲網下料，注意一次只可取一片
17，絲網印刷參數調整原則
印刷方式：
1. 不刮槳料交替印刷 2. 不刮槳料每片印刷兩次
3. 先印刷后刮槳料 4. 先刮槳料后印刷
網版：
網版間距：網版與印刷平臺之間的距離。（以印刷平臺為0參考點，平臺上方為負方向，網版正常停止時間距Spec: -3000um，印刷時間距Spec: -900~-1300）
網版間距調整原則：在保證質量的前提下，網版間距越小越好，太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不良和損壞網版。
刮條：
刮條深度： 刮條印刷時使網版面下降的距離。（以網版面為0參考點，網版下方為負方向。網版正常停止時的位置
Spec: 5000um,印刷時的位置為：Spec: -900~-1300um）。
刮條深度和壓力（Spec:50~70N）調整原則： 在保證印刷質量的原則下，刮條下降深度與壓力越小越好，刮條下降過深或壓力太大，易碎片和損壞網版，刮條下降深度不夠或壓力太小易印刷不良或沾版。
印刷速度：150~300mm/s 刮槳料速度： 450mm/s
絲網印刷時遵循以下原則：
刮條壓力&刮條深度與槳料下漏量成反比，
絲網間距&刮條速度與槳料下漏量成正比。
18，各種流程的作用及常見異常
絲網印刷是通過刮條擠壓絲網彈性形變后將漿料漏印在需要印刷的材料上的一種印刷方式。
1. 背電極印刷
背電極作用：用于組件時焊接用。
125硅片有2根背電極， 156硅片有3根背電極，其中多晶為分段類型的，而單晶為整條類型的，更換網版時必須校正網版位置，使兩側的背電極距離Si片邊緣基本相同.
2. 背電場印刷
作用： 鈍化硅本體，提高電池開路電壓（在工藝范圍之內，背電場越厚越好）
常見異常：
A. 鋁珠：
如果是因為燒結所致，就調節3、4區溫度；但若是鋁珠分布在履帶頂針四周，可考慮是否為履帶過臟，或是頂針磨損所致，此時需要清洗履帶，嚴重時可以考慮更換履帶；另外，鋁珠的產生也可能是由于二道印刷過厚導致，那么可以在不影響電性能的情況下，減輕二道印刷重量。
B. 鋁苞：
a. 前道清洗減薄量大，使絨面過大，易產生鋁苞。
b. 背電場印刷的太薄，剛換過網版未及時控制好背場印刷重量，易產生鋁苞，此時只需控制好印刷參數和印刷重量就可以解決。
c. 網版的小洞破損導致鋁苞。看洞的破損情況，如果可以用膠帶修補，且試做OK后可正常生產，若修補無效須更換網版.
d. 粘板：三個參數同時增大，降低速度
3. 正電極印刷
作用： 收集電流
156硅片副柵線有78根，主柵線有3根
125硅片副柵線有62根，主柵線有2根
注意事項：
正電極需返工的硅片，在擦拭后應該正面對正面疊放。正反面一起疊放時背電場鋁槳會粘到正電極上，從而影響轉換效率.
常見問題：
A：斷線：當網版被堵時，槳料無法下漏所至，只需擦拭網版即可
B：虛印：增大壓力，刮刀深度，降低絲網間距
C：粗點：加大絲網間距，減小刮刀深度和壓力，加大印刷速度。刮刀剛下去粗點，減小刮刀深度。刮刀剛上去粗點，加大絲網間距。
4. 烘干爐
作用：去除槳料中的有機物質。
5. 燒結爐
作用： 讓上下電極行成良好的接觸，提高轉換效率。
爐內氣氛是在N2的保護情況下進行燒結的，燒結溫度主要是通過影響RS&RSH來提高轉換效率的.
常見問題：
a. 燒結不透：將主燒結區5、6區溫度適當加大3度左右，測試后看電性能，如果沒有達到理想的燒結效果可對其進行再優化。
b. 燒穿：根據燒結后的測試數據，降低燒結5、6區溫度，然后再進行測試，直到燒結正常。